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　　UHV绝对式光栅

　　特性

　　由真空兼容材料和粘合剂制成，出气率低

　　残余气体分析 (RGA) 经验证不会污染真空环境

　　120 °C烘焙温度

　　非接触开放式光学系统提供高速、可靠的操作，摩擦和磨损均为零

　　无气密孔

　　高精度直线光栅和圆光栅系列

　　真正意义的绝对位置测量

　　RESOLUTE光栅系列可与单码道直线栅尺和圆光栅配用，实现绝对位置测量。该光栅在通电后无需任何移动便可立即获取位置信息。

　　高速和高分辨率

　　RESOLUTE光栅结合了先进的光学系统与创新的位置确定算法，能够以达到1 nm的精细分辨率和高达100 m/s (36,000 rpm) 的速度实现绝对位置测量。

　　优异的测量性能

　　RESOLUTE光栅系统可测量绝对位置，其具有±40 nm的低电子细分误差 (SDE) 和小于10 nm RMS的超低噪声(抖动)，能够实现平稳的速度控制性能和可靠的位置稳定性。

　　栅尺选项

　　直线栅尺用于提供直线位置信息 — 通常是X轴、Y轴或Z轴。

　　圆光栅用于提供角度位置信息以及对旋转元件进行运动控制。

　　圆弧栅尺可卷绕在圆柱体、轴或圆弧上，用于测量旋转运动的圆弧。