������̩���������޹�˾

��Ϊ��ҵ��������רҵ�����̣�������̩���������޹�˾�����©��ά������ʮ���꣬ʼ���� ����׼��ϡ���Ч�޸���Ʒ�ʱ��ϡ� Ϊ���ģ�������Ϊȫ��ҵ��ҵ�����л������ߵ�ԺУ�ṩȫ��λ�ļ�©�豸��������������ѳ�Ϊ���ڼ�©��ά�޷��������***֮һ�� �Դ�����������˾�Ӻ��ļ����з��𲽣��𲽹����𸲸�ȫ���ͼ�©�ǵ�ά�޷�����ϵ����չ�����������ݽ����������63�O�ı�׼��ά�޻��أ����ֶ����IJ�ж��������������������������������ִ�������������������޳�����ðټ��޳���׼���䱸����***����ƽ̨��Ϊά��Ʒ�ʵ춨��ʵ������ ƾ������ļ���ͻ���������������˾�Ⱥ��뷨��(ATEQ)���ձ�COSMO���¹��շ���Pfeiffer����Ӣ������Inficon����***Ʒ�ƽ����ٷ��������������㲿����Ӧ��ԭ������֧�ֵȷ���ʵ����ȶԽӣ��ۼƷ���ͻ���2000�ң�ά�޸����©���豸����̨�������***��ɳ���ս�Ժ����� ����ʵ�����������Ŷ����豸 ������̩���������޹�˾ʼ�ձ��� ��������������Ʒ��Ӯ�����Ρ� �ķ�չ������������©��ά�޼����з���������չ����߽磬�����ڳ�Ϊȫ��ҵ����豸ά������ĺ�����顣 չ��