用于半导体行业的Atmax二流体喷嘴示例

用于半导体行业的Atmax二流体喷嘴示例

精密涂层

由于可以精确地雾化和喷射少量液体，因此可以在半导体和电子元件制造过程中通过喷涂形成薄膜。
与其他喷涂系统相比，喷涂工艺易于控制，设备配置也很简单。特点是从厚涂层到薄膜，一个喷嘴的条件范围很广。

精密设备清洗工作

由于粒径分布很锐利，因此适合需要精确度的精确清洁。Atmax喷嘴的冲击较小，喷射流量平缓，因为雾化所需的压缩气体流量小于常规喷嘴的流量。

使用*的液体剂进行涂层工作

有两个主要组成部分。标准喷嘴材料是SUS316L，因为它具有非常简单的组件结构，但也可以使用适合使用环境的材料进行制造。此外，在接液部件中没有使用O形圈。

使用细颗粒的加工工作

可以容易地连续注入含有固体成分的浆液。为了通过喷雾获得雾化，从小孔口喷射是*的理论，但是Atmax喷嘴能够雾化大直径的喷射。

Atmax喷嘴AM型

Atmax喷嘴AM型可以精确地喷射极小的液体流速，并获得平均粒径约为5μm的细颗粒。它是一个非常小的喷嘴，可以在20到750瓦的空气压缩机中运行。